微機電技術 BY 壹團 Yvon Wong

微機電是越來越當紅的技術，利用半導體蝕刻、光罩、蒸鍍濺鍍各種技術，將微型馬達制動器、積體電路、感測器集中在一個微型構造上面。其應用範圍非常廣泛，生醫、製造工業、AI工業4.0、創新機電領域。這本入門書籍對微機電做了一個初步廣泛的介紹，是值得一讀的好書。